着眼于未来的创造。
用于高精度位移测量的智能传感器
1、将先进传感技术融入业界最小传感器头及控制器中。
2、稳定检测减少颜色和光泽误差。
3、110 μs超高速感应。
4、液晶界面操作设定。
5、USB标准配置。
6、监控软件包。
额定值/性能
项目 |
型号 |
ZS-HLDC11A ZS-LDC11A
|
ZS-HLDC11 ZS-LDC11
|
ZS-HLDC41A ZS-LDC41A
|
ZS-HLDC41 ZS-LDC41 |
平均次数 |
1/2/4/8/16/32/64/128/256/512/1024/2048/4096次 |
传感器连接数量 |
1台/控制器 |
外部 接口 |
连接方式 |
串行I/O为连接器方式、其他为导线引出方式(标准导线长度:2m) |
串行I/O |
USB2.0 |
1个端口, FULL SPEED[最大12Mbps]、MINI-B |
RS-232C |
1个端口、最大115,200bps |
输出 |
判断输出 |
HIGH/PASS/LOW 3输出 NPN集电极开路, DC30V 50mAmax.,残余电压:最大为1.2V |
HIGH/PASS/LOW 3输出 PNP集电极开路 50mAmax.,残余电压:最大为1.2V |
线性输出 |
可从两种输出,电压或电流中选择(通过底座上切换开关进行选择) ·电压输出:-10~+10V,输出阻抗:40Ω ·电流输出:4~20mA,最大负载电阻:300Ω |
输入 |
激光OFF/ZERO定时/ RESET |
ON:短路,端电压 0V或1.5V以下 OFF:开路(漏电流:最大为0.1mA) |
ON:短路,电源电压或与电源电压-1.5V以内 OFF:开路(漏电流:最大为0.1mA) |
功能 |
显示:测量值/门限值、电压/电流值、受光量以及分辨率显示/端子块输出显示*2 传感:模式/增益/测量对象/传感头安装 测定点*1 : 平均/峰值/谷值/厚度/段差/计算 过滤:平滑/平均/微分 输出:比例缩放/各种保持/归零 I/O设定值:线性(聚焦/校正)/判断(迟滞、定时器)/非测量/组(切换和清除)/端子块*2 系统:保存/初始化/测量信息显示/通信设定/键锁定/语言切换/数据加载 任务功能 : ZS-HLDC□1:单任务/多任务(最大4个任务)切换 ZS-LDC□1:单任务 |
状态指示灯 |
HIGH(橙色)、PASS(绿色)、LOW(橙色)、LDON(绿色)、ZERO(绿色)、ENABLE(绿色) |
分段显示 |
主显示 |
8段红色显示, 6位数 |
副显示 |
8段绿色显示, 6位数 |
液晶显示 |
16位数×2行,字符颜色:绿色,每个字符分辨率:□5×8像素矩阵 |
设定输入 |
设定键 |
方向键(UP/DOWN/LEFT/RIGHT4方向)、SET键、ESC键、MENU键、及功能键(1~4) |
切换开关 |
门限选择开关(2种状态 H/L) 模式切换开关(3种状态 FUN/TEACH/RUN) |
电源电压 |
DC21.6V~26.4V (包括纹波) |
电流消耗 |
0.5A以下(当连接传感器头时) |
周围环境温度 |
动作时:0~50℃、存储时:-15~+60℃ (不结冰、结露) |
周围环境湿度 |
动作时·存储时:35~85%RH (不结冰、结露) |
材料 |
外壳:聚碳酸酯(PC) |
重量 |
约280g (包括包装材料和附件) |
附件 |
设定软件, USB电缆(1m), 铁氧体磁心(3个), 说明书 |
铁氧体磁心(1个), 说明书 |
设定软件, USB电缆(1m), 铁氧体磁心(3个), 说明书 |
铁氧体磁心(1个), 说明书 |
*1. ZS-HLDC□1的功能下选择多任务模式时可使用。
*2. 端子块输出为ZS-HLDC□1的功能。
ZS-HL系列传感头
项目 |
型号 |
ZS-HLDS2 (ZS-HLDS2T) |
ZS-HLDS5 (ZS-HLDS5T) |
ZS-HLDS10 |
ZS-HLDS60 |
ZS-HLDS150 |
适用控制器 |
ZS-HLDC系列 |
光学方式 |
正反射 |
扩散反射 |
扩散反射 |
正反射 |
扩散反射 |
正反射 |
扩散反射 |
正反射 |
扩散反射 |
正反射 |
测量中心距离 |
20mm |
5.2mm |
50mm |
44mm |
100mm |
94mm |
600mm |
-- |
1500mm |
-- |
测量范围 |
±1mm |
±1mm |
±5mm |
±4mm |
±20mm |
±16mm |
±350mm |
-- |
±500mm |
-- |
光源 |
可视半导体激光(波长650nm、1mW以下、2级JIS)
|
可视半导体激光 (波长658nm、1mW以下、2级JIS) |
光束形状 |
线光束 |
光束直径*1 |
1.0mm×20μm |
1.0mm×30μm |
3.5mm×60μm |
16mm×0.3μm |
40mm×1.5μm |
直线性*2 |
±0.05%F.S. |
±0.1%F.S. |
±0.07%F.S.(250~750mm) ±0.1%F.S.(750~950mm) |
±0.2%F.S. |
分辨率*3 |
0.02μm (平均次数256)
|
0.05μm (平均次数256) |
0.1μm(平均次数512) |
1μm(平均次数64) |
8μm(平均次数64、at250mm)、 40μm(平均次数64、at600mm) |
500μm(平均次数64) |
0.25μm(平均次数256) |
温度特性*4 |
0.01%F.S./℃ |
采样周期 |
110μs (高速模式)、500μs (标准模式)、2.2ms (高精度模式)、4.4ms (高感度模式) |
LED 指示灯 |
NEAR灯 |
接近测量中心距离以及在测量范围内小于测量中心距离时点亮。 |
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 |
FAR灯 |
接近测量中心距离以及在测量范围内大于测量中心距离时点亮。 |
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 |
运行环境照明 |
受光表面照明3,000 lx以下:白炽灯 |
受光表面照明1,000 lx 以下:白炽灯
|
受光表面照明500 lx 以下:白炽灯 |
周围环境温度 |
运行:0~50℃,存储:-15~60℃ (不结冰、结露) |
周围环境湿度 |
运行和存储:35~85%RH (不结露) |
保护等级 |
IP64 |
电缆长度0.5m:IP66、电缆长度2m:IP67 |
IP66 |
材料 |
外壳:铝印模压铸,前盖:玻璃 |
电缆长度 |
0.5m、2m |
重量 |
约350g |
约600g |
约800g |
附件 |
激光标签(JIS/EN各1个),铁氧体磁心(2个),保险锁(2个),说明书 |
*1. 将实际测量中心距离(有效值)的中心光学密度定义为1/e2(13.5%)。光束直径有时受工件状况的影响,如主光束泄漏的光。
*2. 相对于理想直线的测量值误差。*2. 根据工件直线可能变更。工件如下:
型号 |
扩散反射 |
正反射 |
ZS-HLDS2 |
SUS块 |
玻璃 |
ZS-HLDS5/HLDS10 |
白色铝瓷 |
玻璃 |
ZS-HLDS60/HLDS150 |
白色铝瓷 |
-- |
*3. 设定为高精度模式、表内平均次数是测定中心位移输出的[峰值-峰值]的位移换算值(ZS-HLDS60记载250mm下的最高分辨率)。工件如下:
型号 |
扩散反射 |
正反射 |
ZS-HLDS2 |
SUS块 |
玻璃 |
ZS-HLDS5 |
白色铝瓷 |
ZS-HLDS10/HLDS60/HLDS150 |
白色铝瓷 |
*4.当传感头和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的温度特性。
ZS-L系列传感头
项目 |
型号 |
ZS-LD20 (ZS-LD20T)
|
ZS-LD20S (ZS-LD20ST)
|
ZS-LD40 (ZS-LD40T)
|
ZS-LD10G (ZS-LD10GT)
|
ZS-LD15G (ZS-LD15GT) |
适用控制器 |
ZS-HLDC/LDC系列 |
光学方式 |
正反射 |
扩散反射 |
正反射 |
扩散反射 |
正反射 |
扩散反射 |
正反射 |
测量中心距离 |
20mm |
6.3mm |
20mm |
6.3mm |
40mm |
30mm |
10mm |
15mm |
测量范围 |
±1mm |
±1mm |
±1mm |
±1mm |
±2.5mm |
±2mm |
±0.5mm |
±0.75mm |
光源 |
可视半导体激光(波长650nm、1mW以下、2级JIS) |
光束形状 |
线光束 |
点光束 |
线光束 |
光束直径*1 |
900×25μm |
φ25μm |
2000×35μm |
约25×900μm |
直线性*2 |
±0.1%F.S. |
分辨率*3
|
0.1μm (0.008μm)/ 〈0.25μm〉 |
0.1μm (0.001μm)/ 〈0.25μm〉 |
0.4μm (0.015μm)/ 〈0.4μm〉 |
0.1μm (0.001μm)/ 〈0.25μm〉 |
0.15μm (0.001μm)/ 〈0.25μm〉 |
温度特性*4 |
0.04%F.S./℃ |
0.04%F.S./℃ |
0.02%F.S./℃ |
0.04%F.S./℃ |
采样周期 |
110μs (高速模式)、500μs (标准模式)、2.2ms (高精度模式)、4.4ms (高感度模式) |
LED 指示灯 |
NEAR灯 |
接近测量中心距离以及在测量范围内小于测量中心距离时点亮。 |
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 |
FAR灯 |
接近测量中心距离以及在测量范围内大于测量中心距离时点亮。 |
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 |
运行环境照明 |
受光表面照明3,000 lx以下:白炽灯 |
周围环境温度 |
运行:0~50℃,存储:-15~60℃ (无结冰结露) |
周围环境湿度 |
运行和存储:35~85%RH (无结露) |
保护等级 |
电缆长度0.5m:IP66、电缆长度2m:IP67 |
IP40 |
材料 |
外壳:铝印模压铸,前盖:玻璃 |
电缆长度 |
0.5m、2m |
重量 |
约350g |
约400g |
附件
|
激光标签(JIS/EN各1个, FDA 3个),铁氧体磁心(2个), 保险锁(2个),说明书
|
激光安全说明标签(JIS/EN各1个),铁氧 体磁心(2个),保险锁(2个),说明书 |
*1. 将实际测量中心距离(有效值)的中心光学密度定义为1/e2(13.5%)。定义区域外也有漏光,当工件周围的光反射率高于工件的状况下可能有一定影响。
*2. 相对于理想直线的测量值误差。工件为白色铝瓷(正反射模式为玻璃)。根据工件直线可能变更。
*3. 平均次数128次,设定为高精度模式时的测定中心距离的位移输出的[峰值-峰值]的位移换算值。工件为白色铝瓷(正反射模式为玻璃)。
( )内为设定为平均次数4096次,这是通过USB或RS-232获取数据时的代表例。
*4. 当传感头和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的温度特性。
ZS-L系列传感头
项目 |
型号 |
ZS-LD50 |
ZS-LD50S |
ZS-LD80 |
ZS-LD130 |
ZS-LD200 |
ZS-LD350S |
适用控制器 |
ZS-HLDC/LDC系列 |
光学方式 |
扩散 反射 |
正 反射 |
扩散 反射 |
正 反射 |
扩散 反射 |
正 反射 |
扩散 反射 |
正 反射 |
扩散 反射 |
正 反射 |
扩散反射 |
测量中心距离 |
50 mm |
47 mm |
50 mm |
47 mm |
80 mm |
78 mm |
130 mm |
130 mm |
200 mm |
200 mm |
350 mm |
测量范围 |
±5 mm |
±4 mm |
±5 mm |
± 4mm |
±15 mm |
±14 mm |
±15 mm |
±12 mm |
±50 mm |
±48 mm |
±135 mm |
光源 |
可视半导体激光(波长650nm、1mW以下、2级JIS) |
光束形状 |
线光束 |
点光束 |
线光束 |
线光束 |
线光束 |
点光束 |
光束直径*1 |
900×60 μm |
φ50 μm |
900×60 μm |
600×70 μm |
900×100 μm |
φ240μm |
直线性*2 |
±0.1%F.S. |
±0.25%F.S. |
±0.1%F.S. |
±0.25%F.S. |
±0.1%F.S. |
分辨率*3 |
0.8μm |
0.8μm |
2μm |
3μm |
5μm |
20μm |
温度特性*4 |
0.02%F.S./℃ |
0.02%F.S./℃ |
0.01%F.S./℃ |
0.02%F.S./℃ |
0.02%F.S./℃ |
0.04%F.S./℃ |
采样周期*5 |
110μs (高速模式)、500μs (标准模式)、2.2ms (高精度模式)、4.4ms (高感度模式) |
LED 指示灯 |
NEAR灯 |
接近测量中心距离以及在测量范围内小于测量中心距离时点亮。 |
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 |
FAR灯 |
接近测量中心距离以及在测量范围内大于测量中心距离时点亮。 |
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。 |
运行环境照明 |
受光表面照明3,000 lx以下:白炽灯 |
受光表面照明2,000 lx以下:白炽灯 |
受光表面照明3,000 lx以下:白炽灯 |
周围环境温度 |
运行:0~50℃,存储:-15~60℃ (不结冰、结露) |
周围环境湿度 |
运行和存储:35~85%RH (不结露) |
保护 |
等级电缆长度0.5m:IP66、电缆长度2m:IP67 |
电缆长度 |
0.5m、2m |
重量 |
约350g |
附件 |
激光标签(JIS/EN各1个, FDA 3个),铁氧体磁心(2个),保险锁(2个),说明书 |
*1. 将实际测量中心距离(有效值)的中心光学密度定义为1/e2(13.5%)。定义区域外也有漏光,当工件周围的光反射率高于工件的状况下可能有一定影响。
*2. 相对于理想直线的测量值误差。工件为白色铝瓷(ZS-LD50/LD50S的正反射模式为玻璃)。根据工件直线可能变更。
*3. 平均次数128次,设定为高精度模式时的测定中心距离的位移输出的[峰值-峰值]的位移换算值。工件为白色铝瓷(ZS-LD50/LD50S的正反射模式为玻璃)。
( )内为设定为平均次数4096次,这是通过USB或RS-232获取数据时的代表例。
*4. 当传感头和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的温度特性。
*5. 设定为高速模式时。
数据存储单元 ZS-DSU□1
项目 |
型号 |
ZS-DSU11 |
ZS-DSU41 |
传感器连接台数 |
不能连接 |
可连接控制器数 |
最多为10个控制器(ZS-MDC:1个控制器、ZS-LDC:最多为9个控制器)*1 |
可连接的控制器 |
ZS-LDC□□、ZS-MDC□□ |
外部 接口 |
连接方法 |
串行I/O连接器方式、其他:预配线(标准电缆长度:2m) |
串行I/O |
USB2.0 |
1个端口、FULL SPEED[最大12Mbps]、MINI-B |
RS-232C |
1个端口、最大115,200bps |
输出 |
HIGH/PASS/LOW 3个输出、 NPN集电极开路, DC30V 50mA max. 残余电压1.2V以下 |
HIGH/PASS/LOW 3个输出、 PNP集电极开路 50mA max. 残余电压1.2V以下 |
输入 |
ON :短路,端电压为0或1.5V以下 OFF时:开路(漏电流 :0.1mA以下) |
ON :短路,端电压为0或1.5V以下 OFF时:开路(漏电流 :0.1mA以下) |
数据分辨率 |
32bit |
功能 |
记录触发功能 |
记录触发功能可分别设定开始和停止触发:外部触发/数据触发(自触发)以及时间触发 |
其他功能
|
外部组、报警输出、保存数据格式定制功能及时钟功能 |
状态指示 |
OUT (输出,橙色)、PWR (绿色)、ACCESS (达到,橙色)、ERR (红色) |
分段显示 |
8段绿色LED、6位 |
LCD |
16位数×2行、字符颜色:绿色、每个字符分辨率:□5×8像素矩阵 |
设定输入
|
设定键 |
方向键(UP/DOWN/LEFT/RIGHT4个方向)、SET键、ESC键、MENU键及功能键(1~4) |
滑动开关
|
门限开关(H/L 2种状态) 模式切换开关(FUN/TEACH/RUN 3种状态) |
电源电压 |
DC21.6V~26.4V (包括纹波) |
电流消耗 |
0.5A以下 |
周围环境温度 |
运行时:0~50℃、保存时:0~60℃ (不结冰、结露) |
周围环境湿度 |
运行时·保存时:35~85%RH (不结露) |
材料 |
外壳:聚碳酸脂(PC) |
重量 |
约280g (包括包装材料和附件) |
附件
|
铁氧体磁心(1个)、说明书、用于数据存储单元的工具包;数据存储单元CSV文件转 换,智能分析宏版本(分析收集数据的Excel宏) |
*1.连接到控制器时需使用控制链接单元。